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 Demonstration of Heterogeneous Structure for Fabricating a Comb-Drive Actuator for Cryogenic Applications 用于制造用于低温应用的梳状驱动致动器的异质结构的演示
相关领域
执行机构
材料科学
薄脆饼
梳状致动器
硅
绝缘体上的硅
制作
刚度
基质（水族馆）
光电子学
弹簧（装置）
复合材料
机械工程
电气工程
工程类
地质学
病理
海洋学
医学
替代医学
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| 其它 |
期刊：Micromachines 作者：Gaopeng Xue; Masaya Toda; Xinghui Li; Bing Li; Takahito Ono 出版日期：2022-08-11 |
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吉祥
敬老院N号
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