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Chip-scale gyroscope using silicon-nitride waveguide resonator with a Q factor of 100 million
Q因子为1亿的氮化硅波导谐振器芯片级陀螺
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期刊: 作者:Matthew J. Grant; Pierre-Baptiste Vigneron; Avi Feshali; Warren Jin; Nathan C. Abrams; et al 出版日期:2022-03-03 |
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