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Enhanced Responsivity of Solar Blind Ultraviolet Photodetector by PEALD Deposited Zn-Doped Ga2O3 Thin Films
PEALD沉积Zn掺杂Ga2O3薄膜增强日盲紫外光探测器的响应性
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Hui-Chen Fan; Chen Wang; Yu-Jiao Ruan; Kun‐Ching Shen; Wan-Yu Wu; et al 出版日期:2024-01-01 |
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