A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers

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标题	A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers MEMS硅谐振加速度计研究进展相关领域加速度计谐振器微电子机械系统加速度灵敏度（控制系统）硅电子工程计算机科学工程类电气工程材料科学光电子学物理操作系统经典力学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2024.3354235
DOI	10.1109/jmems.2024.3354235 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Zhao Zhang; Hemin Zhang; Yongcun Hao; Honglong Chang 出版日期：2024-04-01
求助人	自然的沛山在 2024-06-11 09:56:52 发布自山东，悬赏 10 积分
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