A method for measuring and correcting errors in the thickness of semiconductor thin films based on reflection spectroscopy fitting technology

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标题	A method for measuring and correcting errors in the thickness of semiconductor thin films based on reflection spectroscopy fitting technology 一种基于反射光谱拟合技术的半导体薄膜厚度误差测量与修正方法相关领域反射（计算机编程）半导体材料科学光谱学光学薄膜光电子学计算机科学物理纳米技术量子力学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2024.108065
DOI	10.1016/j.optlaseng.2024.108065 doi
其它	期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Jiaxing Sun; Zhisong Li; Haojie Zhang; Jinlong Song 出版日期：2024-05-01
求助人	Skyblue666 在 2024-08-19 16:58:59 发布自中国香港，悬赏 10 积分
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