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 Fabrication of high frequency SAW devices using tri-layer lift-off photolithography 三层剥离光刻法制作高频声表面波器件
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Liam Kelly; Howard Northfield; Sabaa Rashid; Xiaoyi Bao; Pierre Berini 出版日期：2022-01-01 |
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