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Design of ceria grafted mesoporous silica composite particles for high-efficiency and damage-free oxide chemical mechanical polishing
高效无损伤氧化物化学机械抛光用氧化铈接枝介孔二氧化硅复合粒子的设计
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材料科学
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期刊:Journal of alloys and compounds 作者:Yang Chen; Changzhi Zuo; Zefeng Li; Ailian Chen 出版日期:2018-03-01 |
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