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标题
Design of ceria grafted mesoporous silica composite particles for high-efficiency and damage-free oxide chemical mechanical polishing
高效无损伤氧化物化学机械抛光用氧化铈接枝介孔二氧化硅复合粒子的设计
相关领域
材料科学 化学机械平面化 X射线光电子能谱 扫描电子显微镜 复合数 抛光 复合材料 介孔二氧化硅 表面粗糙度 磨料 氧化物 化学工程 介孔材料 冶金 化学 催化作用 工程类 生物化学
网址
DOI
10.1016/j.jallcom.2017.11.112 doi
其它 期刊:Journal of alloys and compounds
作者:Yang Chen; Changzhi Zuo; Zefeng Li; Ailian Chen
出版日期:2018-03-01
求助人
大盆友yu 在 2024-06-03 15:29:59 发布自广东,悬赏 10 积分
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