Electron temperature control with a small mesh number grid in inductively coupled plasmas

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标题	Electron temperature control with a small mesh number grid in inductively coupled plasmas 电感耦合等离子体中小网格数网格的电子温度控制相关领域温度电子电子密度等离子体电子原子物理学感应耦合等离子体化学朗缪尔探针等离子体诊断物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/0963-0252/13/4/015
DOI	10.1088/0963-0252/13/4/015 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：K. H. Bai; Chang‐Koon Choi; H. Y. Chang 出版日期：2004-10-13
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