Research on a capacitive MEMS pressure sensor based on through glass via

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标题	Research on a capacitive MEMS pressure sensor based on through glass via 基于玻璃通孔的电容式MEMS压力传感器的研究相关领域电容感应材料科学制作微电子机械系统压力传感器光电子学线性灵敏度（控制系统）振膜（声学）基质（水族馆）阳极连接电气工程电子工程机械工程工程类医学海洋学替代医学病理地质学硅扬声器
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/epdf/10.1002/mop.33909
DOI	10.1002/mop.33909 doi
求助人	空空空在 2025-03-04 11:03:06 发布自浙江，悬赏 10 积分
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