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标题
Nanopatterning and Characterization of Inorganic Films Grown by Atomic Layer Deposition on Silicon and Graphene Substrates
硅和石墨烯衬底上原子层沉积无机薄膜的纳米图案化和表征
相关领域
原子层沉积 表征（材料科学） 石墨烯 硅 图层（电子） 材料科学 纳米技术 沉积（地质） 光电子学 化学工程 沉积物 生物 工程类 古生物学
网址
http://ui.adsabs.harvard.edu/abs/2012PhDT.......211A/abstrac...
AI链接 harvard.edu
DOI
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其它 期刊：PhDT
作者：Justice M. P. Alaboson
出版日期：2012-01-01
求助人
kalisu24 在 2025-04-12 21:04:53 发布自天津，悬赏 10 积分
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