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 Effects of nitrogen flow rate on the microstructure and mechanical and tribological properties of TiAlN films prepared via reactive magnetron sputtering 氮气流量对反应磁控溅射TiAlN薄膜微观结构、力学和摩擦学性能的影响
相关领域
材料科学
微观结构
磨料
摩擦学
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陶瓷
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钛
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物理
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期刊：Ceramics International 作者：Xiaoyan Niu; Guoqiang Dong; Shaoteng Wei; Yujiang Wang; Bo Wang; et al 出版日期：2023-03-13 |
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