Micromirror fabrication for co-packaged optics using 3D nanoimprint technology

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标题	Micromirror fabrication for co-packaged optics using 3D nanoimprint technology 利用3D纳米压印技术制造共封装光学器件的微镜相关领域材料科学制作纳米压印光刻聚二甲基硅氧烷平版印刷术数字微镜装置光电子学薄脆饼光学硅纳米技术医学替代医学物理病理
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002119
DOI	10.1116/6.0002119 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Fumi Nakamura; Kenta Suzuki; Akihiro Noriki; Takeru Amano 出版日期：2022-11-16
求助人	差三岁在 2025-03-29 09:27:51 发布自山西，悬赏 10 积分
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