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![]() 在4英寸上制造的kV级Ga2O3垂直整流器。基板直径
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Jian-Sian Li; Chao-Ching Chiang; Hsiao-Hsuan Wan; F. Ren; Yu‐Te Liao; et al 出版日期:2024-12-02 |
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