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 Stress effect on the leakage current distribution of ferroelectric Al0.7Sc0.3N across the wafer 应力对Al0.7Sc 0.3 N铁电材料漏电流分布的影响
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Wanwang Yang; Li Chen; Minghua Li; Fei Liu; Xiaoyan Liu; et al 出版日期：2023-09-25 |
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