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 X-ray computed tomography studies on directed self-assembly formed vertical nanocylinders containing metals for 3D LSI applications—characterization technique-dependent reliability issues 用于3D LSI应用的含金属的定向自组装形成的垂直纳米圆柱体的X射线计算机断层扫描研究。表征技术相关的可靠性问题
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：M. Murugesan; Akihisa Takeuchi; Takafumi Fukushima; Mitsumasa Koyanagi 出版日期：2019-03-27 |
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