Fast diffraction model of an EUV mask based on asymmetric patch data fitting

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标题	Fast diffraction model of an EUV mask based on asymmetric patch data fitting 基于非对称面片数据拟合的EUV掩模快速衍射模型相关领域极紫外光刻极端紫外线光学卷积（计算机科学）平版印刷术计算机科学计算衍射航空影像 GSM演进的增强数据速率算法物理人工智能图像（数学）人工神经网络激光器
网址	https://doi.org/10.1364/ao.499361 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1364/ao.499361 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Ziqi Li; Xuyu Jing; Lisong Dong; Xu Ma; Yayi Wei 出版日期：2023-08-01
求助人	平凡之路在 2025-03-02 14:22:09 发布自湖北，悬赏 10 积分
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