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 Arsenic Precipitation in Heavily Arsenic‐Doped Czochralski Silicon 重砷掺杂直拉硅中的砷沉淀
相关领域
砷
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期刊：Physica Status Solidi (rrl) 作者：Defan Wu; Tong Zhao; Bin Ye; Xianwen Liang; Hao Chen; et al 出版日期：2022-12-14 |
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