MEMS-based thermoelectric infrared sensors: A review

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标题	MEMS-based thermoelectric infrared sensors: A review 基于MEMS的热电红外传感器研究进展相关领域微电子机械系统热电效应表面微加工材料科学功勋红外线的光电子学热电材料计算机科学系统工程工程类纳米技术机械工程电子工程电气工程工程物理制作物理光学热力学病理医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1007/s11465-017-0441-2
DOI	10.1007/s11465-017-0441-2 doi
其它	期刊：Frontiers in Mechanical Engineering 作者：Dehui Xu; Yuelin Wang; Bin Xiong; Tie Li 出版日期：2017-10-31
求助人	邢慧兰在 2025-01-02 22:23:06 发布自日本，悬赏 10 积分
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