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Laser crystallization and structural characterization of hydrogenated amorphous silicon thin films
氢化非晶硅薄膜的激光晶化及结构表征
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:D. Toet; P. M. Smith; T. W. Sigmon; T. Takehara; C. C. Tsai; et al 出版日期:2002-07-26 |
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