Research Progress of MEMS Gas Sensors: A Comprehensive Review of Sensing Materials

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标题	Research Progress of MEMS Gas Sensors: A Comprehensive Review of Sensing Materials MEMS气体传感器的研究进展：传感材料综述相关领域微电子机械系统材料科学制作纳米技术溅射化学气相沉积工艺工程薄膜工程类医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.3390/s24248125
DOI	10.3390/s24248125 doi
其它	期刊：Sensors 作者：Yingjun Wu; Lei Ming; Xiaohong Xia 出版日期：2024-12-19
求助人	全卫东在 2025-02-13 21:10:23 发布自江苏，悬赏 10 积分
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