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[高分] 学位论文 STRUCTURAL PROPERTIES OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON (a-Si:H) THIN FILM GROWN VIA RADIO FREQUENCY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (RF PECVD)
射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜的结构特性
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