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 Anisotropic etching of {100} and {110} planes in (100) silicon （100）硅中{100}和{110}面的各向异性刻蚀
相关领域
蚀刻（微加工）
各向异性
硅
材料科学
光电子学
工程物理
光学
纳米技术
工程类
物理
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Oliver Powell; H. Barry Harrison 出版日期：2001-05-01 |
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