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标题
书籍（章节） Eco-friendly Corrosion Inhibitors for Multilevel Metal Interconnects of Integrated Circuits
集成电路多级金属互连用环保型缓蚀剂
相关领域
化学机械平面化 材料科学 腐蚀 薄脆饼 互连 集成电路 纳米技术 冶金 图层（电子） 光电子学 工程类 电信
网址
https://doi.org/10.1021/bk-2021-1404.ch006
DOI
10.1021/bk-2021-1404.ch006 doi
其它 期刊：ACS symposium series
作者：Baimei Tan; Lei Guo; Wei Li; Jinbo Ji; Mengyue Zhu
出版日期：2021-11-15
求助人
巫马谷南 在 2025-02-18 13:40:19 发布自云南，悬赏 30 积分
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