In situ electrical monitoring of SiO2/Si structures in low-temperature plasma using impedance spectroscopy

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标题	In situ electrical monitoring of SiO2/Si structures in low-temperature plasma using impedance spectroscopy 低温等离子体中SiO2/Si结构的阻抗谱原位电监测相关领域原位材料科学电容电介质介电谱等离子体降级（电信）分析化学（期刊）辐照硅光电子学化学电极电子工程核物理学物理有机化学物理化学量子力学色谱法工程类电化学
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/acc7ae AI链接 iop.orgdoi.org
DOI	10.35848/1347-4065/acc7ae doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Junki Morozumi; Takahiro Goya; Tomohiro Kuyama; Koji Eriguchi; Keiichiro Urabe 出版日期：2023-03-27
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