发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Review on chemical mechanical polishing for atomic surfaces using advanced rare earth abrasives
先进稀土磨料原子表面化学机械抛光研究进展
相关领域
稀土 抛光 化学机械平面化 材料科学 天体生物学 冶金 物理
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/ad8453
DOI
10.1088/1361-6463/ad8453 doi
其它 期刊：Journal of Physics D Applied Physics
作者：X. Chen; Zhenyu Zhang; Yong‐Min Liang; Hao Luo; Jianmei Wang; et al
出版日期：2024-10-08
求助人
田田田田 在 2024-12-12 15:39:09 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Chemical and Mechanical Properties of Cu Surface Reaction Layers in Cu-CMP to Improve Planarization
  2. Macromodel for changes in polishing pad surface condition caused by dressing and polishing
  3. Impact of PAD Micro Contact Size and Distribution on the Planarization in CMP
  4. Post-chemical-mechanical planarization cleaning application in metallization
  5. Study the chemical mechanical polishing on sapphire substrate
  6. 0.35μm CMOS Technology with Chemical Mechanical Polishing for Three Metallization Levels Planarizat...
  7. Study of the Chemical-Mechanical Global Planarization of Low-k Dielectric in ULSI
  8. Advanced chemical mechanical planarization (CMP) process for copper interconnects
  9. Chemical Mechanical Polishing (CMP) 공정을 이용한 Mutilevel Metal 구조의 광역 평탄화에 관한 연구
  10. <title>Planarization using chemical mechanical planarization (CMP) on a 16-megabit SRAM with quadrup...
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 3分钟前

    科研通AI2S 科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 Chen_2025_J._Phys._D__Appl._Phys._58_023004.pdf (10.47 MB)

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:39:14 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:39:09 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    15:39:09 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    田田田田 田田田田 求助人 Lv61 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
无花果的应助被tRNA采纳，获得30
1秒前
大模型的应助被得到采纳，获得10
2秒前
孟2发布了新的文献求助10
2秒前
Enri完成签到，获得积分10
2秒前
rrrrwq完成签到，获得积分20
3秒前
sun2ot完成签到，获得积分10
3秒前
wisdom的应助被西瓜采纳，获得10
3秒前
LF-Scie发布了新的文献求助200
4秒前
ykxzxn发布了新的文献求助10
4秒前
沉默的皮卡丘完成签到 ，获得积分10
6秒前
万能图书馆的应助被大白采纳，获得10
6秒前
6秒前
可爱的函函的应助被rrrrwq采纳，获得10
6秒前
高高梦山完成签到 ，获得积分20
7秒前
田様的应助被东山月采纳，获得10
7秒前
9秒前
Eileen发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
杨咩咩完成签到 ，获得积分10
10秒前
11秒前
wuhao完成签到，获得积分20
11秒前
完美世界的应助被LF-Scie采纳，获得200
11秒前
张zhang的应助被雪花采纳，获得30
12秒前
12秒前
善学以致用的应助被cc采纳，获得10
13秒前
13秒前
小写发布了新的文献求助10
13秒前
Dsivan发布了新的文献求助10
13秒前
yiyi发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
15秒前
tRNA发布了新的文献求助30
15秒前
16秒前
小二郎的应助被周圈圈采纳，获得10
16秒前
含糊的大侠关注了科研通微信公众号
16秒前
17秒前
野野完成签到 ，获得积分10
17秒前
17秒前
TheDay发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
高分求助中
Earth System Geophysics 1000
Studies on the inheritance of some characters in rice Oryza sativa L 600
Medicina di laboratorio. Logica e patologia clinica 600
Mathematics and Finite Element Discretizations of Incompressible Navier—Stokes Flows 500
mTOR signalling in RPGR-associated Retinitis Pigmentosa 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
Aspects of Babylonian celestial divination: the lunar eclipse tablets of Enūma Anu Enlil 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3206512
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2856028
关于积分的说明 8101930
捐赠科研通 2521035
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1354032
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 641916
邀请新用户注册赠送积分活动 613132
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通