Master origination by 248 nm DUV lithography for plasmonic color generation

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标题	Master origination by 248 nm DUV lithography for plasmonic color generation 用于等离子体颜色生成的248 nm DUV光刻的主起源相关领域等离子体子平版印刷术材料科学光电子学电子束光刻下一代光刻光学纳米技术抵抗物理图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1063/5.0046163
DOI	10.1063/5.0046163 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Xiaolong Zhu; Ilja Czolkos; Alicia Johansson; Theodor Nielsen; Anders Kristensen 出版日期：2021-04-05
求助人	积极的灵雁在 2024-10-25 14:10:50 发布自北京，悬赏 10 积分
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