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 Thermal and Structural Deformation of Projection Optics and Its Influence on Optical Imaging Performance for 22 nm Extreme Ultraviolet Lithography 投影光学器件的热变形和结构变形及其对22 nm极紫外光刻光学成像性能的影响
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期刊：Acta Optica Sinica 作者：杨光华 Yang Guanghua; 李艳秋 Li Yanqiu 出版日期：2012-01-01 |
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