标题 |
Microfabricated hinges
微加工铰链
相关领域
铰链
制作
整体封闭
薄脆饼
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材料科学
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其它 |
期刊:Sensors and Actuators A-physical 作者:Kristofer S. J. Pister; Michael Judy; S. R. Burgett; Ronald S. Fearing 出版日期:1992-06-01 |
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