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 The Impact of Silicon Surface Pretreatment on Interface Structure and Passivation Quality of Alox Films Deposited by Atomic Layer Deposition 硅表面预处理对原子层沉积Alox薄膜界面结构和钝化质量的影响
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期刊： 作者：Jiahui Xu; Wenjing Zhang; Yu-Xuan Li; Liu Cui; Geng Zhang; et al 出版日期：2025-01-01 |
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