Performance optimization of AlN ultrasonic thin-film sensors

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标题	Performance optimization of AlN ultrasonic thin-film sensors AlN超声薄膜传感器的性能优化相关领域材料科学超声波传感器薄膜复合材料光电子学工程物理声学纳米技术物理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.11.010
DOI	10.1016/j.ceramint.2024.11.010 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Chang Xu; Xiaomei Zeng; Xiangyu Zhang; Ting Lv; Yanghui Jiang; et al 出版日期：2024-11-01
求助人	牛鑫洁在 2024-12-27 21:01:14 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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