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 Scalable integration of hybrid high-κ dielectric materials on two-dimensional semiconductors 杂化高κ介电材料在二维半导体上的可扩展集成
相关领域
材料科学
半导体
光电子学
电介质
场效应晶体管
二硫化钼
晶体管
纳米技术
原子层沉积
单层
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电压
电气工程
复合材料
工程类
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| 其它 | Nature Materials volume 22, pages1078–1084 (2023) |
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