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The effects of additive gases (Ar, N2, H2, Cl2, O2) on HCl plasma parameters and composition
添加气体(Ar、N2、H2、Cl2、O2)对HCl等离子体参数和组成的影响
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期刊:Proceedings of SPIE 作者:Alexander Efremov; A. V. Yudina; A. A. Davlyatshina; D. B. Murin; V. I. Svetsov 出版日期:2013-01-08 |
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