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High-Pixel-Density Fine Metal Mask Fabricated by Electroforming of Fe-Ni Alloy onto UV-nanoimprinted Resin Pattern on Si Substrate
硅衬底紫外纳米印迹树脂图案电铸Fe-Ni合金制备高像素密度精细金属掩模
相关领域
材料科学
电铸
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期刊:Transactions on Electrical and Electronic Materials/Transactions on electrical and electronic materials 作者:Myung Bok Lee; Sung Hoo Ju; Jae Woo Ahn 出版日期:2023-08-22 |
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