Effects of parameters on titanium nitride formation at atomic level

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标题	Effects of parameters on titanium nitride formation at atomic level 原子级工艺参数对氮化钛生成的影响相关领域材料科学氮化物氮化钛钛分子动力学纳米尺度化学物理 Atom（片上系统）纳米技术冶金计算化学化学计算机科学图层（电子）嵌入式系统
网址	https://doi.org/10.1142/s0217984921505837
DOI	10.1142/s0217984921505837 doi
其它	期刊：Modern physics letters B 作者：Yanan Lv; Dong Chen 出版日期：2021-12-30
求助人	wlsww 在 2024-05-28 14:21:11 发布自安徽，悬赏 30 积分
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