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 Machine Learning-Based Process-Level Fault Detection and Part-Level Fault Classification in Semiconductor Etch Equipment 基于机器学习的半导体刻蚀设备工艺级故障检测和零件级故障分类
相关领域
故障检测与隔离
Boosting（机器学习）
支持向量机
半导体器件制造
断层（地质）
算法
预处理器
工程类
过程（计算）
人工智能
可靠性工程
机器学习
数学
计算机科学
电气工程
地震学
地质学
薄脆饼
执行机构
操作系统
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| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Sun Ho Kim; Chan Young Kim; Da Hoon Seol; Jeong Eun Choi; Sang Jeen Hong 出版日期：2022-03-22 |
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