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标题
Thermal Atomic Layer Deposition of Gallium Nitride Films Using Tris(dimethylamido)Gallium and Ammonia
三（二甲氨基）镓和氨热原子层沉积氮化镓薄膜
相关领域
镓 原子层沉积 氮化镓 氨 材料科学 沉积（地质） 图层（电子） 化学气相沉积 特里斯 无机化学 化学 纳米技术 冶金 有机化学 生物化学 古生物学 沉积物 生物
网址
https://doi.org/10.1149/ma2023-02313418mtgabs
DOI
10.1149/ma2023-02313418mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts
作者：Young−Hwan Choi; Okhyeon Kim; J.H. Heo; Hye-Lee Kim; Wonjun Lee
出版日期：2023-12-22
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简单的祝福 在 2024-09-23 17:47:03 发布，悬赏 10 积分
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  • 3天前

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  • 3天前

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