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 Effect of AlN/GaN supercycle ratio on properties of AlxGa1−xN films using super-cycle plasma enhanced atomic layer deposition AlN/GaN超循环比对超循环等离子体增强原子层沉积AlxGa1-xN薄膜性能的影响
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期刊：Journal of alloys and compounds 作者：Zhi-Xuan Zhang; Fang-Bin Ren; Chia‐Hsun Hsu; Xiaoxin Zhang; Peng Gao; et al 出版日期：2024-01-01 |
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