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 2.5D-patterning via i-line grayscale exposure for photonic structures and micro lens arrays 2.5光子结构和微透镜阵列的i线灰度曝光的D图案化
相关领域
灰度
镜头（地质）
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光学
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数学
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期刊： 作者：Sebastian Schermer; Christian Helke; Balaji Sake; Andrew Zanzal; Patrick Reynolds; et al 出版日期：2024-04-09 |
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