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 The Cut-Off Phenomenon Effect on ZrO2 Growth Using Remote Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 截止现象对远程等离子体增强原子层沉积ZrO2生长的影响
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期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Zheng Chen; Haoran Wang; Pengpeng Xiong; Ping Chen; Huiying Li; et al 出版日期：2017-02-20 |
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