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 Effects of surface pretreatment and deposition conditions on the gas permeation properties and flexibility of Al2O3 films on polymer substrates by atomic layer deposition 表面预处理和沉积条件对原子层沉积Al 2 O3薄膜气体渗透性能和柔性的影响
相关领域
原子层沉积
渗透
材料科学
聚合物
化学工程
聚酰亚胺
聚合物基片
成核
柔性电子器件
薄膜
纳米技术
图层（电子）
复合材料
有机化学
膜
化学
工程类
生物化学
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期刊：Journal of Coatings Technology and Research 作者：Dung-Yue Su; Yueh-Hua Kuo; Ming-Hung Tseng; Feng‐Yu Tsai 出版日期：2019-06-21 |
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