Room Temperature Bonding of CVD Polycrystalline Diamond Wafers to Semiconductor and Piezo-electric Single Crystalline Wafers

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标题	Room Temperature Bonding of CVD Polycrystalline Diamond Wafers to Semiconductor and Piezo-electric Single Crystalline Wafers CVD多晶金刚石晶片与半导体和压电单晶晶片的室温键合相关领域薄脆饼材料科学钻石晶片键合光电子学半导体化学气相沉积聚晶金刚石微晶工程物理复合材料冶金工程类
网址	https://doi.org/10.1109/ectc51529.2024.00319
DOI	10.1109/ectc51529.2024.00319 doi
其它	期刊：作者：Tadatomo Suga; Junsha Wang; Kazuya Yamamura; Izumi Kataoka 出版日期：2024-05-28
求助人	wq 在 2024-06-28 17:11:27 发布自山东，悬赏 10 积分
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