Review and Thermo-Fluids Numerical Modeling on Electrostatic Chuck

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标题	Review and Thermo-Fluids Numerical Modeling on Electrostatic Chuck 静电卡盘热流体数值模拟研究综述相关领域冷却液薄脆饼传热机械工程频道（广播）材料科学热的电子工程计算机科学工程类机械电气工程光电子学物理热力学
网址	https://doi.org/10.1109/cstic55103.2022.9856823
DOI	10.1109/cstic55103.2022.9856823 doi
其它	期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Pingfa Feng; Taide Tan; Yujie Ji; Yaxin Zhang; Toshihisa Nozawa 出版日期：2022-06-20
求助人	右路的地方在 2024-06-25 17:13:17 发布自山东，悬赏 10 积分
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