Synthesis of c-axis oriented AlN thin films on different substrates: A review

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标题	Synthesis of c-axis oriented AlN thin films on different substrates: A review 不同衬底上c轴取向AlN薄膜的合成研究进展相关领域材料科学薄膜半最大全宽氮化物溅射基质（水族馆）铝图层（电子）压电衍射溅射沉积沉积（地质）极点图 X射线晶体学氮化铝结晶学分析化学（期刊）复合材料光电子学纳米技术光学化学古生物学海洋学物理色谱法沉积物地质学生物
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.materresbull.2010.05.035
DOI	10.1016/j.materresbull.2010.05.035 doi
求助人	风中的夕阳在 2025-01-11 21:07:10 发布自美国，悬赏 10 积分
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