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Modeling, project, numerical simulation, and AES temperature diagnostics of an inductively coupled plasma torch for the deposition of high-purity fused silica for optical waveguide production
用于沉积用于光波导生产的高纯熔融石英的电感耦合等离子体炬的建模、设计、数值模拟和AES温度诊断
相关领域
等离子炬 感应耦合等离子体 材料科学 火炬 等离子体 等离子体处理 等离子体原子发射光谱 等离子体诊断 容性耦合等离子体 电磁线圈 计算物理学 光学 分析化学(期刊) 物理 化学 复合材料 色谱法 量子力学 焊接
网址
DOI
10.1109/27.649628 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Plasma Science
作者:Vittorio Colombo; Cristina Panciatichi; A. Zazo; G. Cocito; L. Cognolato
出版日期:1997-01-01
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