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Modeling, project, numerical simulation, and AES temperature diagnostics of an inductively coupled plasma torch for the deposition of high-purity fused silica for optical waveguide production
用于沉积用于光波导生产的高纯熔融石英的电感耦合等离子体炬的建模、设计、数值模拟和AES温度诊断
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期刊:IEEE Transactions on Plasma Science 作者:Vittorio Colombo; Cristina Panciatichi; A. Zazo; G. Cocito; L. Cognolato 出版日期:1997-01-01 |
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