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 Composition Quantification of SiGeSn Alloys through Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry: Calibration Methodologies and Validation with Atom Probe Tomography 通过飞行时间二次离子质谱定量SiGeSn合金的成分：校准方法和原子探针层析成像的验证
相关领域
原子探针
校准
质谱法
二次离子质谱法
离子
飞行时间
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材料科学
原子物理学
分析化学（期刊）
物理
光学
化学
计算机科学
色谱法
量子力学
透射电子显微镜
嵌入式系统
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期刊：IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 作者：Haochen Zhao; Shang Liu; Suho Park; Xu Feng; Zhaoquan Zeng; et al 出版日期：2024-09-09 |
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