Correction of the phase retardation caused by intrinsic birefringence in deep UV lithography

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标题	Correction of the phase retardation caused by intrinsic birefringence in deep UV lithography 深紫外光刻中本征双折射引起相位延迟的校正相关领域双折射平版印刷术材料科学相（物质）光学光刻光电子学计算机科学物理量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.597180
DOI	10.1117/12.597180 doi
其它	期刊：Optical Microlithography XVIII 作者：Alexander Serebriakov; Florian Bociort; Joseph Braat 出版日期：2005-06-09
求助人	子暮在 2024-11-02 16:49:11 发布自福建，悬赏 20 积分
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