Improved electrical performance for SiO2/β-Ga2O3 (001) MIS capacitor by post-deposition annealing - 科研通

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标题	Improved electrical performance for SiO2/β-Ga2O3 (001) MIS capacitor by post-deposition annealing 沉积后退火改善SiO2/β-Ga2O3（001）MIS电容器的电性能相关领域材料科学退火（玻璃）电容器沉积（地质）光电子学化学工程工程物理冶金电气工程电压古生物学沉积物生物工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108777
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108777 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Qihao Zhang; Dongyuan Zhai; Min He; Jiwu Lu 出版日期：2024-08-15
求助人	灵巧忆南在 2024-11-02 19:35:43 发布自福建，悬赏 10 积分
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