Freestanding optical micro-disk resonators in single-crystal diamond by reactive ion etching and multidirectional focused ion-beam milling

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标题	Freestanding optical micro-disk resonators in single-crystal diamond by reactive ion etching and multidirectional focused ion-beam milling 反应离子刻蚀和多向聚焦离子束铣削单晶金刚石中独立式光学微盘谐振器相关领域材料科学聚焦离子束钻石反应离子刻蚀蚀刻（微加工）咬边光电子学离子束光刻光学制作离子束基质（水族馆）离子纳米技术抵抗梁（结构）图层（电子）复合材料医学海洋学物理替代医学量子力学病理地质学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2290177
DOI	10.1117/12.2290177 doi
其它	期刊：作者：Teodoro Graziosi; Sichen Mi; Niels Quack; Marcell Kiss 出版日期：2018-02-22
求助人	啊喔额在 2024-11-11 13:54:52 发布自中国，悬赏 20 积分
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