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 Molecular Glass Resists Based on 9,9′-Spirobifluorene Derivatives: Pendant Effect and Comprehensive Evaluation in Extreme Ultraviolet Lithography 基于9,9'-螺二芴衍生物的分子玻璃抗蚀剂：极紫外光刻中的悬垂效应及综合评价
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期刊：ACS Applied Polymer Materials 作者：Jinping Chen; Qingshan Hao; Shuangqing Wang; Shayu Li; Tianjun Yu; et al 出版日期：2019-02-19 |
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