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标题
200 mm Ge Wafer Production for Oxide-Free Si-Ge Direct Wafer Bonding
用于无氧化物Si-Ge直接晶片键合的200mm Ge晶片生产
相关领域
薄脆饼 材料科学 晶片键合 溅射 退火(玻璃) 阳极连接 氧化物 光电子学 直接结合 冶金 纳米技术 薄膜
网址
DOI
10.1149/09804.0087ecst doi
其它 期刊:ECS Transactions
作者:Bernhard Rebhan; Johannes Vanpaemel; Viorel Drăgoi
出版日期:2020-09-08
求助人
splatoon 在 2024-11-04 10:41:16 发布自广东,悬赏 10 积分
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